액정 및 재료의 광학 평가 및 검사 기기의 개발
발신기(투광부)와 수신기(수광부)를 왕복 운동을 시켜, 액정용 필름의 두께의 변화를
측정하는 장치에 클린룸 로보실린더를 적용했습니다.
종래는 펄스 모터와 볼 나사를 사용 자체제작 해서 쓰고 있었지만,
비용 절감을 위해 로보실린더로 전환했습니다.
또한 시리얼 통신 기능도 사용, 다품종에 대한 대응도 하고 있습니다.
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액츄에이터 |
RCP2CR-SM-I-PM-20-1000-P1-M |
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컨트롤러 |
RCP2CR-C-SM-I-PM-0 |
| 변위/측정센서 |
OMRON ZS-씨리즈 |
ZX, ZS
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제품소개
